PI (Physik Instrumente)線性促動器原廠(chang)供貨

長行程(cheng)納米(mi)定位，具(ju)有高力，PiezoWalk原理

應(ying)用領域

?工業級精度定位

?半導體技術

?半導體(ti)測試

?晶圓檢測

?平版印刷術

?納米壓(ya)印(yin)

?納米(mi)測量

?強磁場和真空(kong)中(zhong)運動

采(cai)用(yong)PiezoWalk步(bu)進驅動實現納米精度和大進給力

數個壓電陶瓷促動(dong)器在

PiezoWalk步(bu)進(jin)(jin)驅動(dong)中執行步(bu)進(jin)(jin)運動(dong)，將(jiang)動(dong)輪向前推進(jin)(jin)。促動(dong)器控制允許以(yi)遠低(di)于(yu)一納(na)米的(de)分

辨率(lv)進行小步進和推(tui)進運動。

增量

編碼(ma)器用于高精度位置測量

非接觸式光學

編(bian)碼器以*的精度直接在(zai)平臺上測量(liang)(liang)位置。非線性效應、機(ji)械作用或彈性形變不會對測量(liang)(liang)造成影響。

適用于復雜真(zhen)空(kong)應用PI的(de)壓電電機原則上是真空兼容的(de)，并(bing)且適合在強磁(ci)場中運行。驅動器(qi)(qi)的(de)特殊版本適于此目的(de)。壓電陶瓷步進驅動器(qi)(qi)還可用于有較強紫外線輻射的(de)無塵(chen)室或(huo)環(huan)境中。

規(gui)格(ge)

N-216.101 / N

-216.1A1N

-216.201 / N

-216.2A1

公差N-216NEXLINE

線(xian)性促動器

?力量生成達600牛

?保持(chi)力達800牛

?行程20毫米

?帶分辨率的集成式直接測量線性編碼器5納米(mi)

訂購信息

Physik Instrumente (PI)N-216.101

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促(cu)動器(qi)，20毫米，300牛，開環

Physik Instrumente (PI)N-216.1A1

NEXLINE壓電陶(tao)瓷步進高(gao)負(fu)載促動器，20毫米(mi)，300牛，線性編(bian)碼器，5納(na)米分辨率(lv)

Physik Instrumente (PI)N-216.201

NEXLINE壓電陶瓷步(bu)進高負載促動器，20毫米，600牛，開環

Physik Instrumente (PI)N-216.2A1

NEXLINE壓電陶瓷步進(jin)高負載促動器，20毫(hao)米，600牛，線性(xing)編(bian)碼器，5納米分(fen)辨率

PI (Physik Instrumente)線性(xing)促動器原廠供貨